-
1 Abstandsverfahren
сущ.1) электр. метод фотолитографии на микрозазоре2) микроэл. бесконтактный метод, метод бесконтактного экспонирования, метод бесконтактной фотолитографии, метод фотолитографии с микрозазором, метод экспонирования на микрозазоре -
2 Abstandsverfahren
nбесконтактный метод; метод бесконтактного экспонирования [бесконтактной фотолитографии]; метод фотолитографии с микрозазором [на микрозазоре]Deutsch-Russische Wörterbuch polytechnischen > Abstandsverfahren
-
3 Proximity-Verfahren
прил.микроэл. метод фотолитографии с микрозазором, метод экспонирования на микрозазоре -
4 Abstandsbelichtungsverfahren
nметод бесконтактного экспонирования [бесконтактной фотолитографии]; метод экспонирования с микрозазором [на микрозазоре]Deutsch-Russische Wörterbuch polytechnischen > Abstandsbelichtungsverfahren
См. также в других словарях:
Планарная технология — совокупность технологических операций, используемая при изготовлении планарных (плоских, поверхностных) полупроводниковых приборов и интегральных микросхем. Содержание 1 Принципы технологии 2 Основные технолог … Википедия